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貴州特種氣體

貴州特種氣體

貴州特種氣體的分類(lèi)方式很多種,例如按照氣體本身化學(xué)成分可分為:硅系、砷系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物七類(lèi)。按照在集成電路中的作用可分為摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、發(fā)光二極管用氣體、刻蝕氣體、化學(xué)氣相沉積(CVD)用氣體、載運(yùn)稀釋氣體七類(lèi)。同時(shí),以上分類(lèi)存在交叉,例如四氯化硅(SiCl4)既屬于硅系氣體,又屬于外延氣體,同時(shí)在化學(xué)氣相沉積(CVD)中也存在應(yīng)用。


      貴州特種氣體的分類(lèi)方式很多種,例如按照氣體本身化學(xué)成分可分為:硅系、砷系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物七類(lèi)。按照在集成電路中的作用可分為摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、發(fā)光二極管用氣體、刻蝕氣體、化學(xué)氣相沉積(CVD)用氣體、載運(yùn)稀釋氣體七類(lèi)。同時(shí),以上分類(lèi)存在交叉,例如四氯化硅(SiCl4)既屬于硅系氣體,又屬于外延氣體,同時(shí)在化學(xué)氣相沉積(CVD)中也存在應(yīng)用。

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